Imager-SOI晶圓
Imager-SOI晶圓
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本發明的目的在于提供一種晶圓內部具備空腔圖案(3)的SOI晶圓,也就是在SOI晶圓上進行曝光時,能以低成本進行曝光掩模的位置對準的SOI晶圓.本發明的SOI晶圓具備:支承襯底(1)和形成于支承襯底(1)上的絕緣層(2),在形成有絕緣層(2)的支承襯底(1)的一個主面形成有規定的空腔圖案(3),還具備:堵塞該空腔圖案(3)并形成于絕緣層(2)上的活性半導體層(5),活性半導體層(5)未形成于支承襯底(1)的外周部,還具備:形成于支承襯底(1)的上述一個主面側的上述外周部,并確定空腔圖案(3)的位置的多個疊合標記圖案
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